1.磁悬浮分子泵是为满足半导体刻蚀、离子注入、
薄膜沉积、太阳能光伏、锂电负荷集流体、真空镀膜、科学研究等领域开发的真空获得设备
2.磁轴承控制技术:为五自由度电磁轴承，利用国际先进控制理论，采用动态主动闭路磁浮控制技术，实现动态反应迅速、调节及时，保证高速运转轴系具有悬浮稳定、运转可靠等显著优点
3.电机驱动控制技术:系列磁悬浮分子泵全部采用高效高速直流电机和伺服控制系统，使得电机能量转化最大化、轴系转速自动补偿，实现启动平稳、运转可靠、动态能量自动调节功能
高真空法兰 :250ISO-F/250CF
抽速: 2100
最大压缩比 :＞10⁸
最大气载量 :mbar.1.S⁻¹
氮气短时间运行/抽空:30
氮气持续运行:20
前级耐压Ar/N2:2.5
标称转速 :30600min⁻¹
最小转速:13800min⁻¹
极限真空ISO-F/CF :＜ 10⁻⁸/＜10⁻¹⁰mbar
最高烘烤温度:80℃
启动时间min :小于5分钟
前级真空法兰 :DN40KF
冷却水接头 :G1/8
重量kg :50
振动值 :＜0.01um