分子泵叶轮
适用于:半导体制造(显圆刻蚀、沉职)精密饮赛(电子显微镇、质谢饮)生物医药(真空冻干、细胞培)航天航空(空间环境模拟、推进系统测试)
磁悬浮分子泵叶轮
优点·:抽气性能优异:实现高真空与高抽速低腐损长寿命:减少维护成本与停机风险低振动低噪音:适配精密设备与安静工况宽工况适应性:应对复杂负载与启停需求结构震凑:节省安装空间
1.磁悬浮分子泵是为满足半导体刻蚀、离子注入、
薄膜沉积、太阳能光伏、锂电负荷集流体、真空镀膜、科学研究等领域开发的真空获得设备
2.磁轴承控制技术:为五自由度电磁轴承，利用国际先进控制理论，采用动态主动闭路磁浮控制技术，实现动态反应迅速、调节及时，保证高速运转轴系具有悬浮稳定、运转可靠等显著优点
3.电机驱动控制技术:系列磁悬浮分子泵全部采用高效高速直流电机和伺服控制系统，使得电机能量转化最大化、轴系转速自动补偿，实现启动平稳、运转可靠、动态能量自动调节功能