磁悬浮分子泵静片五轴一体精密加工
超高动平衡·无应力变形·极致一体性
航天级铝合金|工业级精度
磁悬浮分子泵静片一体成型卓越性能
低振动 · 高稳定性 · 长寿命
航天级铝合金|工业级精度
1.磁悬浮分子泵是为满足半导体刻蚀、离子注入、
薄膜沉积、太阳能光伏、锂电负荷集流体、真空镀膜、科学研究等领域开发的真空获得设备
2.磁轴承控制技术:为五自由度电磁轴承，利用国际先进控制理论，采用动态主动闭路磁浮控制技术，实现动态反应迅速、调节及时，保证高速运转轴系具有悬浮稳定、运转可靠等显著优点
3.电机驱动控制技术:系列磁悬浮分子泵全部采用高效高速直流电机和伺服控制系统，使得电机能量转化最大化、轴系转速自动补偿，实现启动平稳、运转可靠、动态能量自动调节功能